Características y Beneficios
El DF-560E es una solución flexible y adaptable para mediciones de oxígeno ultratraza en gases UHP.
El LDL de 45ppt O2 del DF-560E es el nivel más bajo disponible para la industria de los semiconductores.
El sensor coulométrico altamente estable que utiliza el DF-560E compensa las fluctuaciones de la tasa de flujo y la muestra, proporcionando mediciones consistentes y de alta estabilidad.
El mantenimiento automatizado realiza calibraciones de cero y de intervalo de forma programada, o ejecuta verificaciones automáticas programadas y notifica a los usuarios cuando se necesita una calibración.